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晶圆传输系统-支撑环装卸料坞8”/12”支撑环适用基于PLC 的程序控制可选支撑环料篮内智能测绘.....
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晶圆传输系统-晶圆对准系统4”-8”/8”-12”晶圆适用可更换式晶圆吸盘非接触晶圆校正薄晶圆处理能力.....
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晶圆传输系统-RTH 型晶圆搬运机械手单臂4”-8”晶圆适用真空吸臂贝努利吸臂边沿夹持臂龙旋风吸臂0°-180°翻转吸臂大气洁净型真空型.....
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晶圆传输系统-SCARA型晶圆搬运机械手单臂8”/12”晶圆适用真空吸臂贝努利吸臂边沿夹持臂龙旋风吸臂0°-180°翻转吸臂大气洁净型真空型.....
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晶圆传输系统-RTH型晶圆搬运机械手双臂4”-8”晶圆适用真空吸臂贝努利吸臂边沿夹持臂龙旋风吸臂大气洁净型.....
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